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1200℃单/双温区CVD系统
1200℃单/双温区CVD系统
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型号:1200℃
详细描述
主要特点:
►1200度开启式真空管式炉(可选配单温区、双温区)。
►多路质量流量控制系统
►真空系统(可选配中真空或高真空)     
►控制电路选用模糊PID程控技术,该技术控温精度高,热惯性小,温度不过冲,性能可靠,操作简单。
►气路快速连接法兰结构采用本公司独有的知识产权专利设计,提高操作便捷性。
►中真空系统具有真空度上下限自动控制功能,高真空系统采用高压强,耐冲击分子泵
►防止意外漏气造成分子泵损坏,延长系统使用寿命。
 
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