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| 型号：Dimension Edge |
| 详细描述 |
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主要特点：
►X-Y扫描范围：90μ x 90μmm（典型值），85μm（最小值）
►Z方向扫描范围：10μm（典型值），9.5μm（最小值）
►纵向噪音水平：<50pm RMS值(最高可达625Hz)）
►XY方向闭环噪音水平：<0.5nm RMS值(最高可达625Hz)）
►马达驱动样品台(X-Y轴)：150mm x 150mm可观测区域
►光学系统：5百万像素数字摄像头；180μm至1465μm可视区域;数字化缩放，马达驱动聚焦
►激光等级：Class 2M
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