主要特点:
►加速电压:200 V - 30 kV
►探针电流:最大 2 μA,连续可调
►放大倍数:6 至 1000000 倍
►电子束分辨率-高真空:30 kV 时为 3.0 nm (SE)、30 kV时为4.0 nm (BSE)、3 kV 时为 8.0 nm (SE)
►电子束分辨率-扩展真空模式 (ESEM):30 kV 时为 3.0 nm (SE)
►样品仓真空(高真空) < 1 × 10-5 Pa
►样品仓真空(低真空)10-130Pa
►ESEM 真空 < 10-2600 Pa
►载物台::倾斜共心测角台,4 轴电动
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